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充氮真空無氧烘箱的原理
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時間: 2023-07-04 | 482 次瀏覽 | 分享到:

1.充氮真空無氧烘箱的原理，其原理通過外接氮氣置換裝置，使箱體內(nèi)達到無氧真空狀態(tài)，提供無氧潔凈的固化環(huán)境。

2.充氮真空烘箱熱量利用的比較充分，專為干燥熱敏性、易分解等物質(zhì)而設(shè)計，能夠向內(nèi)部充入惰性氣體，特別是一些成分復(fù)雜的物品也能進行快速干燥;使用容積比較大，微電腦溫度控制器，控溫比較準確;

3.真空充氮烘箱是一種利用真空厭氧固化的設(shè)備,它可以在無氧的環(huán)境下對一些特殊的膠水進行快速固化,適用于半導(dǎo)體芯片、電子元器件、醫(yī)療器械等領(lǐng)域。

4.充氮真空無氧烘箱的熱處理，通過真空抽出空氣及雜質(zhì)氣體，真空度根據(jù)不同的工藝要求，需要達到100pa,甚至50pa以內(nèi)，然后通過充入高純潔凈氮氣數(shù)次循環(huán)后達到無氧環(huán)境，20或者10ppm以下，再根據(jù)預(yù)先設(shè)置的recipe升溫，真空+氮氣補償，恒溫，降溫等工藝過程。

5.充氮真空烘箱的優(yōu)勢和特點是在負壓工作狀態(tài)下,在氧含量少的情況下可以杜絕氧化反應(yīng)先進行抽離真空再充氮氣加熱,這樣可以減少氧化，再負壓狀態(tài)下產(chǎn)品固化效率也不相同，產(chǎn)品質(zhì)量更加優(yōu)質(zhì)。


      充氮真空無氧烘箱也稱為真空無氧烤箱、厭氧爐、真空固化爐等，用于半導(dǎo)體/第三代半導(dǎo)體/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、CPI、PBO膠固化，LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。