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HMDS涂布機(jī)，hmds涂膠機(jī)工藝原理
來源: | 作者:HMDS烘箱技術(shù)部 | 發(fā)布時間: 2015-04-12 | 5704 次瀏覽 | 分享到:


HMDS涂布機(jī)，hmds涂膠機(jī)工藝原理
HMDS涂布機(jī)，hmds涂膠機(jī)用途：
   在 MEMS 產(chǎn)品的研發(fā)過程中，在 PZ 層去膠之后發(fā)現(xiàn)有嚴(yán)重的側(cè)向腐蝕現(xiàn)象。這種現(xiàn)象可以直接從顯微鏡目檢中檢查出，而且在整個晶圓的表面呈現(xiàn)無規(guī)則的分布。這種過腐蝕現(xiàn)象會嚴(yán)重的影響到 MEMS 產(chǎn)品的性能。然兒涂膠前處理的HMDS 涂布只會影響到光刻膠與襯底之間的黏附性，對其他工藝參數(shù)的影響十分微小，這對于改善光刻膠與襯底之間的黏附性問題，是十分有利的。
HMDS涂布機(jī)，hmds涂膠機(jī)原理：

在提升光刻膠的黏附性工藝中，實際上HMDS(六甲基二硅烷)并不是作為粘結(jié)劑所產(chǎn)生作用的，而是HMDS 改變了 SiO2 的界面結(jié)構(gòu)，從而使晶圓的性質(zhì)由親水性表面轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷员砻妗?

   光刻膠與晶圓表面之間的黏附性問題，除了受到分子鍵合的影響，還受到其他重要因素的影響。如表面的水分就是其中的主要因素，會減少黏附性，從而造成掀膠和側(cè)向腐蝕。HMDS 涂布是涂膠前對硅片表面進(jìn)行處理，可以增加硅片表面水分子的接觸角，使硅片表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性。
  HMDS 一般采用蒸汽涂布的方式。簡單評價晶圓的表面黏附性好壞，可以將晶圓進(jìn)行 HMDS 涂布，然后在晶圓的表面滴一滴水珠，然后通過測量水珠的接觸角，來進(jìn)行晶圓表面黏附性好壞的判斷。當(dāng)接觸角角度越大，說明黏附性越好，也就意味著疏水性越強。
HMDS涂膠機(jī)技術(shù)指標(biāo)：


1、設(shè)備名稱

HMDS涂膠機(jī)

2、設(shè)備型號

 JS-HMDS90

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 內(nèi)腔尺寸

450×450×450（mm）可選其他數(shù)據(jù)

3.2  材質(zhì)

 外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑、304不銹鋼，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

3.3 溫度范圍

 RT+10-200℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度波動度

 ≤±0.5

3.6 真空度

 ≤133pa（1torr）

3.7 潔凈度

class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

 AC 22±10% / 50HZ       總功率約2.5KW    

3.9 控制儀表

 人機(jī)界面

3.10擱板層數(shù)

 2層

3.11 HMDS控制

可控制HMDS藥夜添加量

3.12真空泵

油泵、干泵