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工

作

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態(tài)

度

，


個(gè)產(chǎn)品，

對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件
細(xì)
致

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
  • 潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
  • 氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>
  • LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）
  • 真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
  • 精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)
  • 超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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HMDS烘箱
    發(fā)布時(shí)間: 2022-10-12 12:13    

HMDS烘箱原理

    HMDS烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機(jī)等，是將HMDS蒸汽通過(guò)干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS烘箱技術(shù)指標(biāo)

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤133pa（1torr）

控制儀表：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行

HMDS控制：可設(shè)定

HMDS工藝：進(jìn)入腔體到尾氣排出完全密閉，無(wú)任何泄漏

安全檢測(cè)：在線檢測(cè)，HMDS泄漏警 報(bào)提示

儲(chǔ)液瓶：HMDS儲(chǔ)液瓶 

真空泵：無(wú)油渦旋真空泵

規(guī)格尺寸（mm）：300*300*300/450*450*450、定制

數(shù)據(jù)記錄：開(kāi)機(jī)、待機(jī)、升溫、壓力等數(shù)據(jù)記錄

功能：脫水烘烤、增粘劑蒸鍍、后烘

用途 ：將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。