就
是
對(duì)
待
工
作
的
態(tài)
度
,
個(gè)產(chǎn)品,
做到極致認(rèn)真
每一組數(shù)據(jù)
產(chǎn) 品 中 心
products
潔凈烘箱,百級(jí)無塵烘箱用途:
潔凈烘箱,百級(jí)無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
潔凈烘箱,百級(jí)無塵烘箱特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好;
4.HEPA過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。最小限度控制風(fēng)速距離過濾效率99.99%;
5.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到高溫度控制精度。
潔凈烘箱,百級(jí)無塵烘箱技術(shù)參數(shù):
無塵等級(jí):Class100;
溫度范圍:RT~300/450℃;
溫度均勻度:200℃±2℃;
溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃;
工作尺寸(mm):
450×450×450
500×500×500
600×700×800(可定制)
電源:380v , 50Hz
網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))
可擴(kuò)展功能:
氧濃度檢測(cè),無塵無氧烘箱
智能聯(lián)網(wǎng)功能,MES等工業(yè)自動(dòng)化軟件
掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取
自動(dòng)門控,上位機(jī)程控,機(jī)械手搬運(yùn)產(chǎn)品