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對(duì)

態(tài)


個(gè)產(chǎn)品,

對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件
細(xì)

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級(jí)無(wú)塵烘箱
  • 氮?dú)夂嫦洌艹涞嫦?/div>
  • LCP熱處理烘箱,LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱,高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
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堅(jiān)膜無(wú)塵烤箱,半導(dǎo)體無(wú)塵烘箱
    發(fā)布時(shí)間: 2021-09-26 13:42    
堅(jiān)膜無(wú)塵烤箱,半導(dǎo)體無(wú)塵烘箱概述
       無(wú)塵烤箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過(guò)程中堅(jiān)膜工藝。也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。
堅(jiān)膜無(wú)塵烤箱,半導(dǎo)體無(wú)塵烘箱特點(diǎn)
1、 烤箱用于半導(dǎo)體車間100級(jí)生產(chǎn)線;
2、 設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)CASETTE內(nèi)硅片烘烤工藝;
3、 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
4、 開(kāi)機(jī)后墻體內(nèi)一直處于恒溫狀態(tài);
5、 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式,雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到最佳溫度控制精度;
6、操做人員放入產(chǎn)品后關(guān)門,點(diǎn)擊開(kāi)始按鈕即可一鍵完成菜單工藝,完成后伴有聲光提示。

堅(jiān)膜無(wú)塵烤箱,半導(dǎo)體無(wú)塵烘箱技術(shù)參數(shù)
1、 無(wú)塵等級(jí):Class 100;     
2、 溫度均勻度:±2℃;    
3、 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載);        
4、 溫控精度:±0.1℃;
5、 溫度范圍:RT+10-200/300℃;
6、 升溫速率:
≥8℃/min(可修改);
7、 內(nèi)腔材質(zhì):SUS304#鏡面不銹鋼;
8、 外箱材質(zhì):優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑或SUS304#不銹鋼;

9、 密封條:耐高溫氟橡膠密封條;
10、氮?dú)庋b置:可調(diào)式浮子流量計(jì);
11、安全裝置:漏電保護(hù),超溫保護(hù),三色提示燈等。