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度

，


個產(chǎn)品，

對待每一

做到極致認(rèn)真

每一個零件
細(xì)
致

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
  • 潔凈烘箱，百級無塵烘箱
  • 氮氣烘箱，精密充氮烘箱
  • LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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HMDS烘箱
    發(fā)布時間: 2022-10-12 12:13    

HMDS烘箱原理

    HMDS烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機等，是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS烘箱技術(shù)指標(biāo)

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤133pa（1torr）

控制儀表：人機界面，一鍵運行

HMDS控制：可設(shè)定

HMDS工藝：進入腔體到尾氣排出完全密閉，無任何泄漏

安全檢測：在線檢測，HMDS泄漏警 報提示

儲液瓶：HMDS儲液瓶 

真空泵：無油渦旋真空泵

規(guī)格尺寸（mm）：300*300*300/450*450*450、定制

數(shù)據(jù)記錄：開機、待機、升溫、壓力等數(shù)據(jù)記錄

功能：脫水烘烤、增粘劑蒸鍍、后烘

用途 ：將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。