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硅片清洗設備，全自動硅片清洗機
    發(fā)布時間: 2021-09-26 13:42    
硅片清洗設備，全自動硅片清洗機的重要性：
      半導體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機物和無機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導；堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等，會導致各種缺陷。
硅片清洗設備，全自動硅片清洗機的應用：
      集成電路，MEMS器件，微波器件，先進封裝等工藝。去膠清洗設備，顯影清洗設備，酸堿刻蝕機。也可用于零部件清洗，石英管道清洗，外延片清洗（砷化鎵，氮化鎵，碳化硅，鈮酸鋰等）
硅片清洗設備，全自動硅片清洗機的特點：
       全自動硅片清洗設備電氣控制是以PLC、觸摸屏為核心實現(xiàn)硅片清洗的自動化。介紹了該設備在PLC控制方面的技術(shù)改進,包括對機械臂的運動控制方式、工藝適應性以及安全性能更好。晶硅料的酸腐蝕、清洗處理。用戶操作人員手動上料后，手動酸腐蝕后，全過程自動化控制，減少人工干預。設備具有自動化程度高，運行成本低，生產(chǎn)效率高，性能穩(wěn)定，安全可靠等特點。