就
是
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工
作
的
態(tài)
度
,
個產(chǎn)品,
做到極致認真
每一組數(shù)據(jù)
產(chǎn) 品 中 心
products
一.無塵烤箱,智能無塵烤箱概述
智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場的生產(chǎn)過程管理、現(xiàn)場監(jiān)控和控制等,包括智能工廠生產(chǎn)過程的數(shù)據(jù)采集及分析,實現(xiàn)生產(chǎn)過程、設備、資源監(jiān)控的可操作和可視化;要能支持采集不同現(xiàn)場設備數(shù)據(jù)的要求,支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上,實現(xiàn)生產(chǎn)過程的動態(tài)監(jiān)控與管理;實現(xiàn)智能設備、機器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對話,實現(xiàn)人機、機機互聯(lián)下的高品質、高效、柔性自動化生產(chǎn)等。
無塵烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。設備可以使用TCP / IP(使用HSMS標準,SEMI E37)或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息進行監(jiān)控和控制。
二.無塵烤箱,智能無塵烤箱特點
1、 SECS / GEM是用于設備到主機數(shù)據(jù)通信的半導體設備接口協(xié)議。在自動化工廠中,接口可以啟動和停止設備處理,收集測量數(shù)據(jù),更改變量并為產(chǎn)品選擇配方。 SECS(SEMI設備通信標準)/ GEM(通用設備模型)標準以確定的方式完成所有這些工作。
2、 在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100/10;
3、 全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
4、 采用單面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經(jīng)電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100/10;
5、 強制送風循環(huán)方式,雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到最佳溫度控制精度。
三.無塵烤箱,智能無塵烤箱技術參數(shù)
1、 無塵等級:Class 100/10;
2、溫度均勻度:±2℃;
3、 溫度波動度:±0.5℃(空載);
4、 溫控精度:±0.1℃;
5、 潔凈度:100/10級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內的溫度分布的均勻性與潔凈度。
四.無塵烤箱,智能無塵烤箱運行監(jiān)控分析技術
智能無塵烤箱運行監(jiān)控分析技術,通過物聯(lián)網(wǎng)向制造企業(yè)提供針對產(chǎn)品的遠程智能服務,包括遠程監(jiān)控、遠程預警、遠程維護、數(shù)據(jù)分析等。智能服務拓展到產(chǎn)品的全生命周期管理。產(chǎn)品智能化服務系統(tǒng)包括產(chǎn)品遠程監(jiān)護與維護平臺、基于大數(shù)據(jù)挖掘的產(chǎn)品使用分析系統(tǒng)、智能手機APP自助服務系統(tǒng),實現(xiàn)功能包括以下幾類:
● 對各類產(chǎn)品的上多種數(shù)據(jù)進行采集、存儲;
● 及時分析用戶使用典型行為;
● 為客戶提供優(yōu)化解決方案及實時監(jiān)控產(chǎn)品使用情況的綜合服務;
● 產(chǎn)品智能化服務的成功應用可以大大提高工作效率,服務維護成本顯著降低,產(chǎn)品差異化程度提升。