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國(guó)產(chǎn)臺(tái)式掃描電鏡，SEM掃描電子顯微鏡的圖像分析
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2020-06-29 | 3439 次瀏覽 | 分享到:

國(guó)產(chǎn)臺(tái)式掃描電鏡，SEM掃描電子顯微鏡的圖像分析：

   掃描電鏡照片是灰度圖像，分為二次電子像和背散射電子像，主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。
   一般二次電子像主要反映樣品表面微觀形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情況需要對(duì)比分析。
背散射電子像主要反映樣品表面元素分布情況，越亮的區(qū)域，原子序數(shù)越高。
 
   看表面形貌，電子成像，亮的區(qū)域高，暗的區(qū)域低。非常薄的薄膜，背散射電子會(huì)造成假像。導(dǎo)電性差時(shí)，電子積聚也會(huì)造成假像。

國(guó)產(chǎn)臺(tái)式掃描電鏡，SEM掃描電子顯微鏡的用途：

   掃描電子顯微鏡利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，與樣品相互作用產(chǎn)行各種物理信號(hào)，這些信號(hào)經(jīng)檢測(cè)器接收、放大并轉(zhuǎn)換成調(diào)制信號(hào)，最后在熒光屏上顯示反映樣品表面 各種特征的圖像。掃描電鏡具有景深大、圖像立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍大、連續(xù)可調(diào)、分辨 率高、樣品室空間大且樣品制備簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，是進(jìn)行樣品表面研究的有效分析工具。
    目前, 掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)（主要用來觀察生物體，微生物，組織器官等）、物理學(xué)、化學(xué)、電子（在電子學(xué)研究中，掃描電鏡主要可以用來觀測(cè)及分析半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)材料、太陽(yáng)能電池、LED、元器件、PCB板及MEMS器件等的形態(tài)或缺陷）、地球科學(xué)、材料學(xué)（在材料研究、地質(zhì)、半導(dǎo)體和微電子、汽車、航空航天等相關(guān)行業(yè)的研究和生產(chǎn)中，掃描電鏡發(fā)揮著巨大的作用）以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究, 僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。