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潔凈烤箱，10/100/1000級(jí)潔凈烤箱等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
來(lái)源:上海雋思實(shí)驗(yàn)儀有限公 | 作者:上海雋思半導(dǎo)體設(shè)備 | 發(fā)布時(shí)間: 2017-07-13 | 3739 次瀏覽 | 分享到:
潔凈度等級(jí)有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)就是ISO，還有國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)，10/100/1000級(jí)屬于國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)。10/100/1000的意思是：每立方米空氣內(nèi)含有微粒（微粒直徑大于等于0.1微米）的最大個(gè)數(shù)。例如，100級(jí)就是粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不能大于100個(gè)。  
國(guó)標(biāo)與ISO標(biāo)準(zhǔn)相對(duì)應(yīng)： 10級(jí)相當(dāng)于ISO4級(jí)，100級(jí)相當(dāng)與ISO5級(jí)，1000級(jí)相當(dāng)于ISO6級(jí)。

百級(jí)潔凈烤箱用途:
  百級(jí)潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

百級(jí)潔凈烤箱特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。
百級(jí)潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

   無(wú)塵等級(jí)：Class 100; 可自定義10/1000級(jí)    

 溫度范圍：RT+10～200℃；最高溫度可自定義
   溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）        
   溫控精度：±0.1℃;        

 工作室尺寸：W800×D800×H1000（mm）可自定義         
   電源：380v , 50Hz，20KW    

 網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

 潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。最小限度控制風(fēng)速距離。