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就

是

對(duì)

待

工

作

的

態(tài)

度

，


個(gè)產(chǎn)品，

對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件
細(xì)
致

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
  • 潔凈烘箱，百級(jí)無(wú)塵烘箱
  • 氮?dú)夂嫦?，精密充氮烘?/div>
  • LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮?dú)夂嫦?/div>
  • 熱風(fēng)循環(huán)真空烘箱，高溫?zé)犸L(fēng)真空烤箱
  • HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
  • 智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱（PI烤箱）
  • 真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱
  • 精密烤膠臺(tái)，高精度烘膠機(jī)
  • 超低溫試驗(yàn)箱，零下-120度高低溫箱
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高精度烤膠機(jī)有哪些擴(kuò)展功能
來(lái)源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2015-04-20 | 657 次瀏覽 | 分享到:

高精度烤膠機(jī)的基本功能

加熱面積尺寸：160mm*160mm、220mm*220mm，多尺寸定制  

控溫范圍：室溫--200/300/400/500/600℃

溫度分辨率 ：0.1℃     

溫度波動(dòng)度：≤±0.5℃         

溫度均勻性：≤±0.5/1℃ 

電源輸入：AC220V             

熱板表面: 由硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成

高精度烤膠機(jī)的擴(kuò)展功能

支撐pin材料

邊緣支撐pin

N2吹掃，無(wú)氧化烘烤

烘焙距離可調(diào)模組

真空腔體

智能型控制系統(tǒng)

高精度烤膠機(jī)的用途

        用于晶圓的單面烘烤，可用于預(yù)烘烤（Pre-bake），前烘（soft bake），底膠涂覆（Primer Vapor）和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆后，薄膜烘干，固化。