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就

是

對(duì)

待

工

作

的

態(tài)

度

，


個(gè)產(chǎn)品，

對(duì)待每一

做到極致認(rèn)真

每一個(gè)零件
細(xì)
致

每一組數(shù)據(jù)

  • 智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵
來(lái)源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2022-04-08 | 699 次瀏覽 | 分享到:

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵說(shuō)明

    IDP-10 渦旋式干泵是一款緊湊、高性能的無(wú)油真空泵，易于維護(hù)。在世 界各地不同的頻率和輸入電壓下，變頻驅(qū)動(dòng)電機(jī)均可提供均一的真空性能。

密封設(shè)計(jì)（電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路完全隔開(kāi)）延長(zhǎng)了軸承的使用壽命， 還可提供潔凈、無(wú)油的真空條件?？蛇x的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中， 可根據(jù)需要使用，不會(huì)額外增加泵的高度。

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵技術(shù)性能

最高抽速                           全速條件下 170 L/min (10.2 m3/h)

 

介質(zhì)

氣體

極限壓力

2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)

最大入口壓力

1.0 個(gè)大氣壓 (0 psig)

推薦的最大連續(xù)入口壓力

2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)

標(biāo)稱電壓下最大出口壓力

1.34 個(gè)大氣壓 (5 psig)

入口連接

NW25

排氣口連接

NW16

氣鎮(zhèn)

0.25 英寸美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)管內(nèi)螺紋（提供 20 μm燒結(jié)插頭）

SAE-2 5/16-24

根據(jù) Pneurop 6602 處理水蒸氣

最大 120 g/h

運(yùn)行環(huán)境溫度

5-40 °C （41-104 °F）

儲(chǔ)存溫度

–20-60 °C (–4-140 °F)

馬達(dá)額定功率

0.5 HP (350 W)； 3? 變頻驅(qū)動(dòng)

工作電壓

100-127； 200-240 VAC， 50/60 Hz

馬達(dá)熱保護(hù)

自動(dòng)熱保護(hù)

工作速度

63.33 Hz： 1900 rpm； 45 Hz： 1350 rpm

冷卻系統(tǒng)

風(fēng)冷

重量

僅泵：  24.74 kg （54.5 磅），運(yùn)輸重量：  28.1 kg （62 磅）

尺寸（高 × 寬 × 長(zhǎng) (mm)）

297 × 260 × 420

泄漏速度（密封排氣口時(shí)）

< 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s)

噪音水平

53 +/- 2 dB (A)

入口處振動(dòng)水平

7 mms-1 rms

計(jì)時(shí)器

提供一體式計(jì)時(shí)器

輻射與抗擾性

EN 61236-1:2013，屬 A 類設(shè)備

安全性

通過(guò) EN/IEC 61010 第 3 版認(rèn)證


   HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。