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HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）使用范圍
來源: | 作者:雋思半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2012-05-11 | 1235 次瀏覽 | 分享到:

HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）用途：

   HMDS Coater是通過對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）技術(shù)指標(biāo)：


1、設(shè)備名稱

HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）

2、設(shè)備型號

 JS-HMDS90-AI/MES

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 尺寸（深*寬*高）

內(nèi)腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制


3.2 材質(zhì)

外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

3.3 溫度使用范圍

80-200℃

3.4 溫度分辨率

0.1℃

3.5 溫度波動度

≤±0.5

3.6 真空度

≤133pa（1torr）

3.7 潔凈度

設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

AC 220V±10% / 50HZ       總功率約3.5KW    

3.9 控制儀表

人機(jī)界面

3.10擱板層數(shù)

2層

3.11 HMDS控制

可控制HMDS藥液添加量

3.12真空泵

無油渦旋真空泵

3.13 保護(hù)裝置

HMDS藥液泄漏報(bào)警裝置，HMDS低液位報(bào)警提示，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)等。