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新 聞 動(dòng) 態(tài)
NEWS
英諾賽科成功導(dǎo)入ASML光刻機(jī)
2021年12月8日,英諾賽科(珠海)科技有限公司為ASML光刻機(jī)成功導(dǎo)入8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線舉辦了慶典。英諾賽科于2021年引入ASML光刻機(jī),憑借著其卓越的成像性能和獨(dú)特的TWINSCAN架構(gòu)(雙晶圓工件平臺(tái)),英諾賽科進(jìn)一步提升了硅基氮化鎵功率器件制造的產(chǎn)能及產(chǎn)線良率。此次慶典上,ASML副總裁兼中國(guó)區(qū)總經(jīng)理沈波代表ASML被英諾賽科授予“最佳戰(zhàn)略合作伙伴”稱(chēng)號(hào)。
晶瑞電材:公司已購(gòu)得KrF光刻機(jī)
晶瑞電材表示,公司近期已購(gòu)得KrF光刻機(jī)一臺(tái),可用于KrF光刻膠的曝光測(cè)試,同時(shí)公司KrF光刻膠(光刻膠厭氧烘箱)量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。
此前,晶瑞電材已經(jīng)購(gòu)得用于負(fù)膠、g線、i線、ArF等4臺(tái)光刻機(jī),再加之此次購(gòu)得的KrF光刻機(jī),晶瑞電材已經(jīng)到位5臺(tái)光刻機(jī)。
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