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晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦洌?/span>

      晶圓退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個(gè)升溫階段,每個(gè)升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個(gè)區(qū)域在每個(gè)所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個(gè)區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對多個(gè)區(qū)域采用氮?dú)獗Ｗo(hù)，該氮?dú)夂嫦?/a>采用輔助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦浼夹g(shù)性能：

1 工作室尺寸  W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制

2  材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑

3 溫度范圍 RT+50-550℃

4 控溫精度  +1

5 溫度波動度 ≤±1℃

6 溫度均勻度  ≤1.5%

7 潔凈度 class100/class1000/無要求

8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ 

9 升溫速度  1-10℃/min可調(diào)

10降溫方式  風(fēng)冷降溫/水冷

11氧含量 氧含量≤50ppm 

12 數(shù)據(jù)輸出 氧含量分析儀，溫度記錄儀

13操作方式     彩色觸摸屏控制，可程式/定制運(yùn)行

14 樣品架   2層不銹鋼沖孔托盤