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潔凈烤箱，10/100/1000級潔凈烤箱等級標準
來源:上海雋思實驗儀有限公 | 作者:上海雋思半導(dǎo)體設(shè)備 | 發(fā)布時間: 2017-07-13 | 3735 次瀏覽 | 分享到:
潔凈度等級有國際標準就是ISO，還有國內(nèi)標準，10/100/1000級屬于國內(nèi)標準。10/100/1000的意思是：每立方米空氣內(nèi)含有微粒（微粒直徑大于等于0.1微米）的最大個數(shù)。例如，100級就是粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不能大于100個。  
國標與ISO標準相對應(yīng)： 10級相當(dāng)于ISO4級，100級相當(dāng)與ISO5級，1000級相當(dāng)于ISO6級。

百級潔凈烤箱用途:
  百級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

百級潔凈烤箱特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。
百級潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

   無塵等級：Class 100; 可自定義10/1000級    

 溫度范圍：RT+10～200℃；最高溫度可自定義
   溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動度：±0.5℃（空載）        
   溫控精度：±0.1℃;        

 工作室尺寸：W800×D800×H1000（mm）可自定義         
   電源：380v , 50Hz，20KW    

 網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

 潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。最小限度控制風(fēng)速距離。