就
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態(tài)
度
，
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對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數(shù)據(jù)
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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環(huán)真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空無氧固化爐，高溫無氧烘箱
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百級潔凈烘箱FFU更換注意事項
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發(fā)布時間: 2024-08-07
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百級潔凈烘箱更換高效過濾器
在更換FFU高效過濾器時，?需要注意以下幾點：?
測量FFU高效過濾器和初效過濾器的規(guī)格及尺寸，?確保新過濾器的尺寸與原過濾器相匹配。?
清潔FFU機箱內及周圍粘附的灰塵，?在安裝新過濾器前，?這是為了防止灰塵影響過濾器的性能和壽命。?
安裝完畢后，?對過濾器進行檢漏工作，?確保沒有泄漏，?保證烘箱內的潔凈度。?
根據(jù)使用環(huán)境的潔凈度，?注意高效過濾器是不可清洗的，?需要定期檢查潔凈區(qū)域的潔凈度，?當實測的潔凈度與要求的潔凈度不符時，?應查明原因并替換新的高效過濾器。?
在替換過濾器時應停機進行，?避免運行中的設備損壞新安裝的過濾器。?
在拆箱、?搬運及安裝取用時，?禁止用手觸及濾紙造成破損，?安裝前應仔細檢查高效過濾器是否因運輸?shù)仍虺霈F(xiàn)破損。?
通過上述步驟，?可以確保百級潔凈烘箱FFU的更換工作順利進行，?同時保證烘箱內的潔凈度和安全性。
百級潔凈烘箱技術性能
潔凈度：Class100;
溫度：RT+15～200℃；
氣體：N2
計時功能：0-99H99M99S
設備材質：內部SUS304不銹鋼
工作尺寸（mm）：
450×450×450
500×500×550
（可定制）
網板：活動式2塊
百級潔凈烘箱適用性：
潔凈烘箱適用于前烘、堅膜、IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研.
